高性能定制MEMS惯性传感器

摘要

法国一家科创公司成立于1997年，专门设计和制造高性能定制MEMS。作为纳米和微系统领域公认的技术领导者，为了应对依靠日益小型化电子设备的高增长市场，该公司特别为工业、航空、安全和医疗市场提供定制和标准产品。同时在高真空包装方面提供广泛的专业知识，目前正在开发基于硅纳米线的检测技术。公司在法国格勒诺布尔和德克萨斯州达拉斯的工厂生产加速度计、陀螺仪、RF组件和压力传感器。根据应用，该公司开发定制MEMS或集成标准功能。目前持有Leti约20项专利的许可，并通过研究协议和多伙伴项目与Leti合作。

公司是闭环MEMS加速度计和陀螺仪的唯一提供商，使MEMS惯性传感器达到了无与伦比的性能水平。闭环电子设备（也称为力反馈）为惯性传感器带来了几个关键优势，包括卓越的线性度、增加的信噪比以及在恶劣的振动、冲击和温度环境下的性能。在过去的15年中，公司已为全球大量客户生产了超过100万个高性能MEMS惯性传感器。这些产品均在法国自己的晶圆厂、装配线和校准线中生产，非常适合对高偏置稳定性、高性能惯性传感器有严格要求的系统制造商。它们用于诸如精密导航、运动跟踪和控制以及光学稳定等应用。

技术的主要特点：

专为高级工业应用量身定制的最新电容技术

通过具有定义好的设计套件（根据保密协议）的开放式铸造模型可获得的技术和支持服务

单个芯片上最多可以集成6个测量轴（3轴加速度计+ 3轴陀螺仪）

具有20种不同惯性MEMS设计（加速度计或陀螺仪）的多个客户的可靠记录

关键技术模块：真空晶圆级封装（VWLP）、腔体SOI、气密横向通孔

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文章来源：《中国惯性技术学报》 网址: http://www.zggxjsxbzz.cn/zonghexinwen/2020/1104/372.html